1940 年初，利佩什在梅塞施密特公司的帮助下，完成了 DFS 194，并进行了成功的高空拖曳飞行。之后，DFS 194 又有一些改进，以便安装火箭发动机，当时有两家公司的产品可供选择：BMW 和 HWK（赫尔穆特•瓦尔特公司）。虽然 BMW 发动机的性能更好一些，但利佩什最终选择了 HWK 的 Walter RI203，这正是He 176 所使用的发动机，显然利佩什还有更多的考虑。1940 年夏，DFS 194 进行了一系列动力飞行试验，最高速度达到了 550 公里/小时（He 176 只有 350 公里/小时）并展现出了令人惊异的爬升性能。受此鼓舞，RLM 计划以 DFS 194 为基础设计一种截击机，以对付在 9,000 米高空飞行的侦察机。就这样，Me 163 诞生了。
163A 原型机：1941 年春，两架原型机 V1 和 V4 完成了滑翔试验，同年夏天被运到佩纳明德（Peenemunde）进行动力试验，在一台新型 HWK RII203b 火箭发动机的推动下，V1 在 8 月 13 日达到了 855 公里/小时的高速。由于利佩什在 1939 年完成的超音速风洞模型试验已经证明三角翼飞机可以进行超音速飞行，所以他对 Me 163 成为史上第一种超音速飞机充满了信心。1941 年 10 月 2 日，为了节省燃料，V4 由一架 Me 110 牵引到 4,000 米的高空后释放，试飞员黑宁.底特马（Heini Dittmar）点燃发动机并不断加速，最后达到了令人惊异的速度：Mach 0.84（1,000.4 公里/小时），之后就因为音障的出现而产生震颤，不得不放弃向音速的冲击。但这已经比当时最快的飞机飞行记录快了 250 公里/小时，在二战期间这一直是德国的最高机密之一，直到战后才得以公开。总产量：6 架。
Me 163A-0 预生产型：在沃尔夫冈.赫斯（Wolfgang Hirth）滑翔机工厂生产，无动力滑翔机，用来训练飞行员。总产量：10 架。
Me 163B 量产型：设计始于 1941 年 12 月 1 日，在布兰迪斯（Brandis）工厂生产，使用 HWK 109-509A 型或 B 型发动机，操纵面有所改进。1942 年 6 月 26 日，第一架 Me 163B 原型机由 Me 110 牵引，进行了无动力试飞。之后在雷根斯堡（Regensburg）工厂生产了 70 架量产型。这一批次又分为 40 架 B-0 前期型（在翼根处装有 2×20 mm MG 151/20 航炮）和 30 架 B-1 中期型（装有 2×30 mm MK 108 航炮）。期间发动机的研制遇到困难，使计划大幅延后，直到 1943 年夏所有的飞机才装上发动机。这 70 架 Me 163 中大约有一半用于试验飞行和进一步的研究，另一半用于装备 EK 16 （第 16 训练大队），真正投入实战的少之又少。总产量：76 架（6架原型机）
Me 163Ba-1 改装型：由剩余的A型改装而来，用于训练飞行员。
Me 163B-1a 量产型：真正投入实战的量产型，发动机有所改进，其余同 B-1 型类似。1943 年末，Me 163 的生产完全转交给克勒姆技术公司（Klemm Technik），主要分包商是道尼尔公司和 BVB 公司，总装在黑森林进行。由于生产分散在各地，加之许多零件供应商没有生产军械的经验，计划再次大幅延误。直到 1944 年 2 月，第一架 Me 163B1-a 首飞，到 1944 年 7 月，德国空军只接收到了 16 架。到 11 月，月产量提高到 90 架，但 1945 年的总产量只有 37 架（看来德国人真的不行了）。由于克勒姆公司没有生产木制飞机的经验，加之许多零件由战俘加工，总的质量要比梅塞施密特公司的产品差许多。总产量：大约 250 架，全部装备 JG 400（第 400 战斗机联队）。
Me 163S 双座教练机：将 T 液箱（瓦尔特液体燃料火箭发动机的燃料分为两部分：分别为 T 燃料——过氧化氢和稳定剂和 C 燃料——肼/甲烷的水合物，这两种燃料一旦混合就会自燃）改为教官座舱，无动力。总产量：少量。
Me 163C 改进型：使用 Walter HWK 509C-1 发动机，有主燃烧室和巡航燃烧室，燃料箱增大以提高续航时间，机身中段重新设计使之更加流线形，座舱加压，有气泡形的座舱盖。总产量：5 架（2 架原型机和 3 架量产型）。
Me 163D 改进型：163D 是进一步的改进，有可回收的三点式起落架。因为容克公司之后被委派的这个发展任务，所以这个系列之后也被称为 Ju 248，最后计划又回到梅塞施密特公司，结果就是 Me 263。总产量：1 架。
