成都中科院光电所研制出22纳米光刻机，是世界上第一台单次成像达到22纳米的光刻机，结合多重曝光技术，可以用于制备10纳米以下的信息器件

发表于 2016-10-26 23:23

成都中科院光电所研制出22纳米光刻机，可用于制备10纳米以下信息器件及CPU

　　近日，成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室，对实验室打造“大国重器”，同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详细报道。

　　光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像达到22纳米的光刻机，结合多重曝光技术，可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不仅是世界上光学光刻的一次重大变革，也将加快推进工业4.0，实现中国制造2025的美好愿景。

　　长期以来，我国的光刻技术落后于先进国家，成为我国工业现代化进程的一块短板。2006年，科技部提出了光刻技术的中长期规划，希望中科院的国家重点实验室，能找到一条绕开国外技术壁垒，具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开了传统的193纳米曝光的技术路线，利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分辨率的图形，所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升，是完全具有知识产权的原创性技术。

发表于 2016-10-26 23:26

发表于 2016-10-26 23:27

发表于 2016-10-26 23:29

碉堡

发表于 2016-10-26 23:30

发表于 2016-10-26 23:41

发表于 2016-10-26 23:42

发表于 2016-10-27 00:21

chaifox 发表于 2016-10-26 23:34

有道理

发表于 2016-10-27 01:28

发表于 2016-10-27 02:01

发表于 2016-10-27 07:06

发表于 2016-10-27 07:25

发表于 2016-10-27 08:09

我去，我以为只有上海微电子在做光刻机呢，厉害！

发表于 2016-10-27 09:09

发表于 2016-10-27 09:18

发表于 2016-10-27 10:33

发表于 2016-10-27 11:09

发表于 2016-10-27 11:19

发表于 2016-10-27 22:42

发表于 2016-10-27 22:55

		自动登录	找回密码
密码			注册

成都中科院光电所研制出22纳米光刻机，是世界上第一台单次成像达到22纳米的光刻机，结合多重曝光技术，可以用于制备10纳米以下的信息器件

相关帖子

厉害！

得看良品率,能否商用还不知道

是光刻蚀机吧，进步不小。要是光蚀刻机，那洋大人就要吃灰了。

２８纳米的