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专访集成电路装备专项技术总师叶甜春

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楼主
发表于 2017-6-4 09:58 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2017/6/378019.shtm?id=378019

“我们的目标是开展集成电路制造装备、成套工艺和材料技术攻关,掌握核心技术,开发关键产品,实现产业自主创新发展。”叶甜春说。

叶甜春是中科院微电子所所长,集成电路装备专项的技术总师。他在接受科技日报记者专访时说,经过广大科研人员近10年的艰苦攻关,我国集成电路制造技术实现了“从无到有”“由弱渐强”的巨大变化,引领和支撑了我国集成电路产业的快速崛起。

我们曾经有过两项空白。

在专项实施前,我国集成电路高端制造装备为零。

“经过专项实施,一批集成电路制造关键装备实现从无到有的突破。”叶甜春说,目前我们的国产刻蚀机、磁控溅射、离子注入机等30多种关键设备都已研制成功,并通过了大生产线的考核,实现了批量供货。总体技术水平达到28纳米精度,部分14纳米精度的关键设备开始进入客户生产线验证,累计销售了306台。国内主要配套零部件配套体系初步形成,国产零部件销售3556台(套)。

中国的技术进步,打破了发达国家对我们实行的出口管制。2015年美国商务部工业与安全局宣布:国外(中国)有和美国ECCN3B001.c性能相当的刻蚀设备技术能力,因此,基于这项编码的美国国家安全出口管制将失效。

我们还曾有过一项空白。

专项实施前,我国集成电路行业所需的材料也几乎全部需要进口。经过近10年努力,目前我国在特种气体、靶材、部分化学品(研磨液、电镀液等)等关键材料方面已完成研发,通过大生产线考核认证后大批量使用,并且有部分产品进入了海外市场。国产光刻胶等也已进入大生产线试用
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沙发
发表于 2017-6-4 10:03 | 只看该作者
光刻机突破28纳米,那就开始爽了
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板凳
 楼主| 发表于 2017-6-4 10:04 | 只看该作者

每天向前挪. 努力学习, 努力进步

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地板
发表于 2017-6-4 10:44 | 只看该作者
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51
发表于 2017-6-4 13:45 | 只看该作者
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61
发表于 2017-6-4 15:41 | 只看该作者
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71
发表于 2017-6-4 21:49 | 只看该作者
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81
发表于 2017-6-4 22:33 | 只看该作者
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91
发表于 2017-6-4 22:52 | 只看该作者
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101
发表于 2017-6-5 01:18 | 只看该作者
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111
发表于 2017-6-5 01:20 | 只看该作者
政府应该规定:凡是由于中国自主研发突破才放开出口限制的外国高科技产品,自动附加500%进口关税、5年,以保护国内产品的市场。
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121
发表于 2017-6-5 07:56 | 只看该作者
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131
发表于 2017-6-5 09:09 | 只看该作者
cpower 发表于 2017-6-5 01:20
政府应该规定:凡是由于中国自主研发突破才放开出口限制的外国高科技产品,自动附加500%进口关税、5年,以保护国内产品的市场。

碳纤维就是这样的情况
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141
发表于 2017-6-5 09:30 | 只看该作者
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151
发表于 2017-6-5 12:15 | 只看该作者
啥意思? 对东丽进口货有高关税?
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161
发表于 2017-6-5 20:37 | 只看该作者
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171
发表于 2017-6-5 20:55 | 只看该作者
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181
发表于 2017-6-5 20:56 | 只看该作者
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