zcbmljgda 发表于 2015-6-28 14:45
田舍郎 发表于 2015-6-28 19:26 先接触的是激光等离子体深紫外/软X射线,亮度高(不是强度,是亮度),其实就是倍频,效率低下,稳定性差,用于半导体加工这样的工业应用基本等于种田靠天吃饭。但亮度高,装置体积小,用于检测、成像等应用好。 电子加速器深紫外/软X射线源功率大,稳定性好,适合工业应用。但体积大、前期投资高。 这两个方法,都需要专 ...