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标题: 专访集成电路装备专项技术总师叶甜春 [打印本页]

作者: 胜者为王 时间: 2017-6-4 09:58
标题: 专访集成电路装备专项技术总师叶甜春
http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2017/6/378019.shtm?id=378019

“我们的目标是开展集成电路制造装备、成套工艺和材料技术攻关，掌握核心技术，开发关键产品，实现产业自主创新发展。”叶甜春说。

叶甜春是中科院微电子所所长，集成电路装备专项的技术总师。他在接受科技日报记者专访时说，经过广大科研人员近10年的艰苦攻关，我国集成电路制造技术实现了“从无到有”“由弱渐强”的巨大变化，引领和支撑了我国集成电路产业的快速崛起。

我们曾经有过两项空白。

在专项实施前，我国集成电路高端制造装备为零。

“经过专项实施，一批集成电路制造关键装备实现从无到有的突破。”叶甜春说，目前我们的国产刻蚀机、磁控溅射、离子注入机等30多种关键设备都已研制成功，并通过了大生产线的考核，实现了批量供货。总体技术水平达到28纳米精度，部分14纳米精度的关键设备开始进入客户生产线验证，累计销售了306台。国内主要配套零部件配套体系初步形成，国产零部件销售3556台（套）。

中国的技术进步，打破了发达国家对我们实行的出口管制。2015年美国商务部工业与安全局宣布：国外（中国）有和美国ECCN3B001.c性能相当的刻蚀设备技术能力，因此，基于这项编码的美国国家安全出口管制将失效。

我们还曾有过一项空白。

专项实施前，我国集成电路行业所需的材料也几乎全部需要进口。经过近10年努力，目前我国在特种气体、靶材、部分化学品（研磨液、电镀液等）等关键材料方面已完成研发，通过大生产线考核认证后大批量使用，并且有部分产品进入了海外市场。国产光刻胶等也已进入大生产线试用

作者: 我不是元芳 时间: 2017-6-4 10:03
光刻机突破28纳米，那就开始爽了

作者: 胜者为王 时间: 2017-6-4 10:04
标题: 每天向前挪. 努力学习, 努力进步

作者: xmc 时间: 2017-6-4 10:44

作者: 重修 时间: 2017-6-4 13:45

作者: 龍龙久 时间: 2017-6-4 15:41

作者: 扯蛋 时间: 2017-6-4 21:49

作者: 学院南路 时间: 2017-6-4 22:33

作者: 雪地孤狼 时间: 2017-6-4 22:52

作者: cpower 时间: 2017-6-5 01:18

作者: cpower 时间: 2017-6-5 01:20
政府应该规定：凡是由于中国自主研发突破才放开出口限制的外国高科技产品，自动附加500%进口关税、5年，以保护国内产品的市场。

作者: 看 时间: 2017-6-5 07:56

作者: panglau 时间: 2017-6-5 09:09

cpower 发表于 2017-6-5 01:20
政府应该规定：凡是由于中国自主研发突破才放开出口限制的外国高科技产品，自动附加500%进口关税、5年，以保护国内产品的市场。

碳纤维就是这样的情况

作者: 潜龙勿用 时间: 2017-6-5 09:30

作者: cpower 时间: 2017-6-5 12:15
啥意思？对东丽进口货有高关税？

作者: wls771 时间: 2017-6-5 20:37

作者: TNT 时间: 2017-6-5 20:55

wls771 发表于 2017-6-5 20:37

作者: zjzy 时间: 2017-6-5 20:56

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